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堆垛层错是怎么回事如何堆垛的?

发布时间:2020-10-24 23:35    点击次数:139次   

  它是晶体结构层正常的周期性重复堆垛顺序在某二层间出现了错误,从而导致的沿该层间平面(称为层错面)两侧附近原子的错误排布。例如在立方紧密堆积(CCP)结构中,其固有的正常堆垛顺序为三层重复的……ABC ABC ABC……,如果局部出现诸如……ABC A\C ABC……或者……ABC AB\A\C ABC……,则在划线处便是堆垛层错的所在。它们在形式上也可看成是由一个完整的晶格沿层错面、其两侧晶格间发生非重复周期平移所导致的结果 通过在具有朝向结晶方向的离轴取向的碳化硅衬底的表面上形成若干特征可制作外延碳化硅层。所述的特征包括取向不平行于即倾斜或垂直于结晶方向的至少一个侧壁。接着,在其中包括所述特征的碳化硅衬底的表面上生长外延碳化硅层。


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